当地时间6月11日晚间，总部位于荷兰的光刻机巨头阿斯麦（ASML）在社交平台上发文，悼念阿斯麦创始人之一维姆・特罗斯特（WimTroost）。另据媒体报道，维姆・特罗斯特于上周五（6月8日）上午逝世，享年98岁。

在畅销科技书籍《光刻巨人：ASML崛起之路》中，有一段话这样描述他：“特罗斯特从废料堆中拯救了晶圆步进机。在第二次世界大战后的几十年里，如果说有谁是飞利浦的代表人物，那非他莫属。”

阿斯麦官方账号发文称：“我们的创始之父之一，维姆・特罗斯特去世了。特罗斯特是我们的创始元老之一，也是1987年至1990年期间的CEO，那时ASML正努力争取其第一个客户。退休后，特罗斯特一直是ASML和高科技产业的真正大使。他激励了一代又一代的后人。我们感谢特罗斯特对ASML的DNA和强大公司文化的贡献，他的远见卓识、领导才能和毅力鼓舞了后世多代人。我们向特罗斯特的家人表示哀悼。”

维姆・特罗斯特于1925年在荷兰海牙出生，他在ASML的创立、崛起与创新过程中都起到了举足轻重的作用。

20世纪70年代末和80年代初，半导体制造技术的规模和复杂性的快速增长，推动了这一行业价值链的分工，专业设备供应商对于开发复杂的光刻系统变得尤为重要。

正是在这种背景下，飞利浦开始开发自己的晶圆步进机，用于对硅晶圆进行图案化。从1978年起，飞利浦科学与工业 (S&I) 部门以 PAS2000 （飞利浦自动晶圆步进机）的名义推动了商业化工作。

特罗斯特正是飞利浦晶圆步进机的开发人员，也是在飞利浦管理团队会议上唯一一个表示对光刻机有研究兴趣的人。

但在庞大的飞利浦内部，PAS 2000只是一个小项目。面对资源匮乏、没有订单，甚至飞利浦自家晶圆厂都不买单的情况，飞利浦内部和荷兰经济部不止一次想要终止对光刻机项目的支持。时任S&I副主任的特罗斯特一直坚持步进光刻机的研发，利用个人可自由支配的预算来维持着项目生命，并寻求飞利浦董事会和荷兰政府的进一步支持。

特罗斯特很快意识到，外部客户的参与对于验证技术是不可或缺的，拯救业务的唯一选择，是与一家美国公司成立合资企业。这一计划失败后，飞利浦最终找到ASM International作为合作伙伴，步进光刻机项目也因此得救了。

虽然飞利浦同意出资210万美元成立ASML，但拒绝提供更多资金和办公场地。成立之初，ASML只有31名员工，一起窝在飞利浦大厦外的简易木板房里办公，并于1986年推出了第一台PAS 2000光刻机。该设备标志着ASML正式进入半导体制造设备领域，也奠定了公司未来发展的基础。这一阶段（1984到1988年间），ASML的首任CEO都是Gjalt Smit，特罗斯特作为监事董事通过飞利浦参与着ASML事务。

到了1988年，技术红利期很快过去，激烈的市场竞争下，ASML再次摇摇欲坠。特罗斯特也在那时开始担任ASML首席执行官，成功带领该公司渡过危机。1990年退休之际，他与当时还是初创公司的中国台湾晶圆代工企业台积电达成了一项重要协议，ASML由此进入亚洲市场。

从ASML退休后，特罗斯特继续工作了很长一段时间，直到78岁才停止所有的工作。

到今天，诞生于荷兰小镇的ASML已成立了40年，这家公司目前几乎垄断了全球光刻机的市场份额，掌握着制造先进芯片的命脉。荷兰也因ASML在全球半导体产业中拥有举足轻重的地位。

来源：澎湃新闻、界面新闻